SSA600/20步進掃描投影光刻機被動式空氣彈簧實際上大致都能夠歸結為一個比較密封性空間,但在在其中充進縮小空氣,而目含有一定的彈力,這樣就能具有很明顯的推動作用,與此同時還要含有調整設備,例如可以調節相對高度
氣體壓力,還可以在整個被震動情況下,具有緩存的功效,技術專 業避震企業提供的被動式空氣彈簧的氣膜一般都是應用高 強度塑料薄膜，氣膜承擔氣壓為10bar，高質量的掃描投影光刻機被動式空氣彈簧，全是含有氣壓閥門的，當氣壓不穩定，或氣壓過大時，氣壓閥門便會根據放空氣來維護氣膜，也正因為這一原理和優勢,因此被動式空氣彈簧組織是比較穩定的。
那掃描投影光刻機被動式空氣彈簧安裝的時候要留意那些問題呢？

構造是不是平穩,除開跟所選用的產品質量緊密相關之外,實際上還和安裝是否標準有關,安裝時一定要留意一些事宜,例如，安裝地面坡度，安裝人員的技術實力，安裝的規劃部位，安裝自然環境等多種因素,由于商品歸屬于髙壓裝置,所以才能夠使其損壞或是觸碰明火及其用硬塊撞擊等,在安裝位置的相接處,需要確保能夠靈活多變的旋轉等。唯有通過正規技術性嚴苛來完成安裝,而且上下之后按時檢驗,才能保障所使用的非常長長期。